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日本小坂KOSAKA | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列概述
臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽(yáng)能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺(tái)階儀測(cè)量薄膜厚度,臺(tái)階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax…），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動(dòng)探索樣品表面
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列特點(diǎn)
★ 高精度．安定性．機(jī)能性卓yue適合于FPD基板·晶圓硬盤(pán)等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。
★ 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。
★ ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
★ ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
★ ET4300一適合12″樣品測(cè)量。
